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利用空心阴极等离子体放电在单晶硅上成功的沉积了各种形态的纳米氧化锌晶体。在制备过程中，使用氩气作为等离子体形成气体，氧气作为反应气体，由空心阴极放电加热蒸发高纯度锌粉。在测试过程中，利用X射线衍射仪对晶体结构进行表征；利用电子扫描显微镜对样品表面形貌进行描述；利用透射电子显微镜对表面形态进行更细致的分析；利用光致发光谱对其发光性能进行测试。