【摘 要】
：
本文研究了利用X射线衍射方法分析了电沉积铜薄膜的内应力及其织构特征.结果表明,随薄膜厚度的增加,薄膜内应力增大;当厚度超过10 μ m时,薄膜内应力增幅减缓.另外,电沉积铜
【机 构】
：
上海交通大学材料科学与工程学院,上海,200240
【出 处】
：
第九届全国X-射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会
论文部分内容阅读
本文研究了利用X射线衍射方法分析了电沉积铜薄膜的内应力及其织构特征.结果表明,随薄膜厚度的增加,薄膜内应力增大;当厚度超过10 μ m时,薄膜内应力增幅减缓.另外,电沉积铜薄膜具有较强的(220)丝织构,随着铜薄膜内应力的增加(220)丝织构增强,同时叠加有板织构的特征.基于晶体应变能各向异性可以解释,随着薄膜内应力的增加,应变能对铜薄膜织构形成的影响越大.丝织构金属薄膜进一步形成板织构的驱动力来自于薄膜晶体不同取向应变能的差异.
其他文献
本文通过对丙乳是一种高分子聚合物的分散体,加入水泥砂浆后成为丙乳砂浆,具有优异的黏结、防渗、防水、防腐、抗裂、抗冻、抗氯离子渗透、耐冲磨、耐老化性能.本文着重介绍
一、少年时代郭沫若是我国现代著名的文学家、历史学家和社会活动家,原名郭开贞,号尚武,笔名有麦克昂、杜荃、鼎堂、易坎人、石沱等,一八九二年十一月十六日,诞生在四川省乐
目的:优化桑黄多酚的超声提取工艺。方法:以乙醇浓度、超声时间、超声温度和料液比为考察因素,以桑黄总多酚提取率为评价指标,采用单因素试验和正交试验优选提取工艺。结果:
在粉末体块材料研究的基础上,生长了双掺杂(La0.52Y0.15)(Ca0.17Sr0.16)MnO3(LYCSMO)薄膜,衬底是(001)的SrTiO3(STO).原子力显微镜测量表明薄膜的表面平整、均匀,粗糙度仅0.3
目的:确证比阿培南中开环物杂质并建立其含量测定方法.方法:采用液相色谱-质谱(LC-MS)联用法确证比阿培南中开环物杂质,LC条件:色谱柱为GL SciencesC18,流动相A为0.01 mol/L
建筑工程的渗漏问题,是长期困扰建筑业的一个难题.为什么会成为"老大难"呢?是因为它是一个历史的、综合的问题,它不仅存在技术层面上的因素,还存在观念、市场、管理规范等方
本文研究：GENEFP(Fundamental Parameters Profile Fitting using Genetic Algorithm)程序是通过遗传算法求解基本参数和晶胞参数等来进行X射线衍射图全谱拟合,并利用Le Bail
目的:同时测定复方氟嗪酸鼻喷剂中氧氟沙星、盐酸萘甲唑啉及马来酸氯苯那敏的含量。方法:采用超高效液相色谱法,色谱柱为Waters ACQUITY UPLC BEH C18,流动相为乙腈-0.03 mol
本文利用X射线衍射仪(XRD)可以测量粘土矿物中伊利石的结晶程度,引入国际通行的半峰宽法(K.I指数法),对海拉尔地区贝尔凹陷布达特群和松辽盆地石炭二叠系的样品进行了分析.通
目的:研究幽门螺杆菌(Hp)编码基因(rdxA)和细胞毒素相关基因A(cagA)突变与Hp对甲硝唑耐药的关系.方法:从贵阳某医院60例消化内科患者胃黏膜标本中分离出Hp临床分离株11株,体