SPTS MEMS Technology

来源 :第四届微米纳米技术“创新与产业化”国际研讨会暨物联网MEMS产业应用论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaowen51

【摘要】

：

　　SPP Process Technology Systems (SPTS) is a leading manufacturer of etch, deposition and thermal processing equipment for the MEMS industry.This presentation

【作者】

：

Susumu Kaminaga

【机构】

：

SPPProcessTechnologySystemsLtd(SPTS)

【出处】

：

第四届微米纳米技术“创新与产业化”国际研讨会暨物联网MEMS产业应用论坛

【发表日期】

：

2010年11期

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　　SPP Process Technology Systems (SPTS) is a leading manufacturer of etch, deposition and thermal processing equipment for the MEMS industry.This presentation will provide an overview of the etch process technologies offered by SPTS, with examples of how these processes have been optimized specifically to meet the needs of a rapidly maturing and growing MEMS market.

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