电弧离子镀沉积参数对TiN薄膜性能的影响

• 作 者: 杨文茂;李雪源;吴志勇;
• 机 构: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川,绵阳,621900
• 出 处: 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
• 发表日期: 2008年期

采用电弧离子镀技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面沉积氮化钛(TiN)薄膜,分别测试了薄膜的结构、表面形貌、显微硬度和摩擦磨损性能,研究了电弧离子镀沉积参数,如电弧电流、基体偏压对薄膜性能的影响。研究表明适当增加电弧电流和基体偏压的高压有助于提高TiN薄膜的力学性能,如薄膜硬度、耐磨损性能等；(111)晶面择优取向的TiN薄膜具有更高的硬度；较高的电弧电流沉积的薄膜中共沉积的颗粒均匀,且直径小于5um。