【摘 要】
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针对医用x射线成像质量降低的问题,运用扫描电子显微镜(SEM)及其附带的能谱仪(EDS)对产生X射线的阳极靶进行了分析,结果表明:阳极靶在叠层烧结过程中,压坯之间隔层用氧化铝粉
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054成都虹波实业股份有限公司,四川成都610100
【出 处】
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第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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针对医用x射线成像质量降低的问题,运用扫描电子显微镜(SEM)及其附带的能谱仪(EDS)对产生X射线的阳极靶进行了分析,结果表明:阳极靶在叠层烧结过程中,压坯之间隔层用氧化铝粉高温下熔融渗入靶材的W基体中,致使靶面受到污染,阳极靶发射X射线质量下降,成像质量降低。根据分析结果。提出了解决意见:通过更换隔层用氧化铝粉为钨粉,生产出纯W靶面的靶材,很好的解决了X射线成像质量下降的问题。
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