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利用离子源辅助双源电子束沉积技术，制备了YbF3-In2O3新型透明导电薄膜。该薄膜在可见区具有良好的透射率(平均透射率为86.6％)，其导电性(25Ω／□)可与ITO相比拟，且该导电膜具有高的功函数(5.32eV)和良好的界面特性。用此导电薄膜制备的有机薄膜太阳能电池与ITO阳极器件相比具有显著提升的性能。