【摘 要】
：
为了对镭射干涉仪、高精度位移感测器等测量系统进行纳米级精度的非线性误差校准，满足国际比对专案的迫切需要，需进一步提高中国计量科学研究院与清华大学合作研制的差拍法
【机 构】
：
清華大學,精密儀器與機械學系,精密測試技術與儀器國家重點實驗室,北京100084
【出 处】
：
2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会
论文部分内容阅读
为了对镭射干涉仪、高精度位移感测器等测量系统进行纳米级精度的非线性误差校准，满足国际比对专案的迫切需要，需进一步提高中国计量科学研究院与清华大学合作研制的差拍法布裹-珀罗干涉仪(F-P干涉仪)的线性度、稳定性及测量范围.本文在合理分析空气折射率变化及氦氖雷射器纵模调谐范围等因素对测量的影响基础上，设计并制作了密对干涉光路的真空系统，并用调谐范围较大的半导体雷射器作为工作雷射器.实验表明，系统在大于1/4波长的行程范围内的线性度有明显的提高，最大非线性误差由8.93nm减小至1.19nm.系统的抗干扰能力得到了改善，应用范围得到了扩展，已适用于大行程的校准与比对场合.
其他文献
阿伏加德罗常数(Avogadro Constant,NA)是一个重要的基本物理常数,它的精确测定将有助于重新定义2个国际基本单位——千克(kg)和摩尔(mol),因而引起了人们的(广)泛关注并
一项新研究旨在评估一种至今为止隐藏的海洋垃圾形式,并显示其可能对海洋产生的影响.rn人们认为,轮胎颗粒会从车辆上大量转移到河流和海洋中.但是,这些轮胎的确切命运以及所
外差干涉仪是使用两种不同频率的单色光作为测量光束和参考光束，通过光电探测器的混频，输出差频信号，被测物体的变化如位移、振动、转动、大气扰动等引起的光波相位变化或多
虚拟仪器计量的紧迫性虚拟仪器具有功能灵活、开发方便和成本低廉的优势，能发挥高性能处理器强大的计算能力，利用计算机软件高效实现复杂的测量控制和数据处理功能，因而不仅
量测中心于2007年自行开发了一套可量测车辆车速之雷射式测速装置，并用之于校准埋设于道路上之感应线圈式测速器，经由实际使用经验，将陆续发现的一些量测装置及量测方法的缺
Zhang Yingpengrn张应鹏rn简介 Biographyrn张应鹏,安徽宣城人,1964年12月生,合肥工业大学土木学士、东南大学建筑学硕士、浙江大学哲学博士,九城都市建筑设计有限公司总建筑
分光义(Optical Emission Spectrometer)又称光谱分析仪，主要功能为应用于金属材料分析，本分光仪系统主要提供铸铁(Cast Iron)材料分析，包括材料成分的浓度及量测不确定度(
本文探讨平面显示器TFT-LCD制程监测及面板影像品质相关之计量标准及不确定度分析。TFT-LCD是台湾继半导体产业后，另一项重点产业，然相关制程与成品品质相关检测及追溯系统
正态样本离群值的判断和处理是数据理的一个重要环节。在剔除水准下统计检验为显著的离群值称为统计离群值，原称高度异常值，旧称粗大误差。在离群值的判断和处理上，一些教材
陶澍,1950年8月出生于上海,籍贯江苏无锡,环境地理学家,中国科学院院士,北京大学城市与环境学院教授、博士生导师.rn1977年,陶澍毕业于北京大学地质地理系自然地理专业,获得