论文部分内容阅读
该文在已有的纳米干涉仪测量方案的基础上提出了扩大测量范围的方法，从理论上能够将原来的二分之一单波长（0.316μm）的测量范围扩大到毫米量级。该文中给出了新的信号处理方法和误差分析。整个系统的测量不确定度为0.10nm+(1/2n+1)×1.6×10<-6>μm（n为干涉条纹的整数级次）。
扩大纳米干涉仪测量范围的研究
【摘 要】
：
该文在已有的纳米干涉仪测量方案的基础上提出了扩大测量范围的方法，从理论上能够将原来的二分之一单波长（0.316μm）的测量范围扩大到毫米量级。该文中给出了新的信号处理方法和
【机 构】
：
清华大学国家精密测试技术与仪器重点实验室(北京)
【出 处】
：
2000年计量测试学术交流会
【发表日期】
：
2000年期
其他文献
定位精度是工业机器人测量系统最基本的一项指示，该文在介绍校准该测量系统的定位精度的方法后，按１９９３版的《不确定度表达指南》的准则分析和计算了测量结果的总不确定度，这对正确使
该文通过实验及理论分析方法对象点式比较仪测量过程中的各项测量误差逐一作了较详细的分析，并给出该仪器测量孔径时可能达到的不确定度值，同时提出了修正误差的原则，达到提高测
根据熵可作为信息不确定程度的唯一性度量，及其与概率分布的对应关系，并结合误差的熵分析方法，探讨测量不确定度评定中采用熵表示方法。以图在某此评定上避开纠缠而进一步统一、
1993年国际标准化组织、国际法制计量组织、国际计量局等七个权威组织发布了《测量不确定度表示导则》后,在国际组织和世界各国得到了广泛的应用,正促进以足够完整的信息表述
文章阐述为校准实验室认可评审提供测量能力而依据《测量不确定度表达指南》评估测量不确定度详细报告的方法。
Ｔｈｅｃｈａｎｇｅｓｏｆｏｐｔｉｃａｌｐｏｗｅｒｉｎｄｕｃｅｄ ｂｙ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｉｓｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌｌｙａｎａｌｙｚｅｄｉｎ ｅｔｃｈｅｄ ｏｐｔｉｃａｌｆｉｂｅｒ ｓｅｎｓｏｒ，ｔｈｅ ｔｅｍ ｐｅｒａｔｕｒｅ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ｏｆ ｏｕｔｐｕｔ ｐｏｗ ｅｒ δＰ／ＰδＴ ｉｓｃａｌｃｕｌａｔｅｄ ｔｏ ｂｅａｂｏｕｔ１０－ ６／℃．Ｉｔｉｓａｃｃｏｒｄａｎｔｗｉｔｈ ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍ ｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓ．Ｉｔｉｎｄｉｃａｔｅｓｔｈａｔｔｈｅ ｅｔｃｈｅｄ ｏｐｔｉ
对不确定度的分析，国际计量委员会（ＣＩＰＭ）建议书ＣＩ－１９８１、国际标准化组织等的“测量中不确定表达指南”（１９９３）及我国技术规范“测量误差及数据处理”（ＪＪＧ１０２７－９１）等均有详细陈述。该文不再重复阐述这些内容。仅