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本文简要介绍了电子级硅烷的应用领域,在此基础上,重点介绍了4种具有实用价值的硅烷制备方法,包括镁硅法、锂硅法、氟硅法和氯硅法,针对各个工艺存在的问题,开发了改进的氯硅法,显著提高了三氯氢硅歧化的转化效率,实验室获得了90％的效率,从而使得该技术表现出了良好的工业应用前景.
连续和大规模高纯硅烷生产技术的研究进展
【摘 要】
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本文简要介绍了电子级硅烷的应用领域,在此基础上,重点介绍了4种具有实用价值的硅烷制备方法,包括镁硅法、锂硅法、氟硅法和氯硅法,针对各个工艺存在的问题,开发了改进的氯硅法,显著提高了三氯氢硅歧化的转化效率,实验室获得了90％的效率,从而使得该技术表现出了良好的工业应用前景.
【机 构】
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上海交通大学;中国平煤神马集团首山天瑞科技有限公司 中国平煤神马集团首山天瑞科技有限公司
【出 处】
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全国特种气体第十八次年会
【发表日期】
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2014年7期
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