【摘 要】
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本文研究了一种基于Si基MEMS工艺的，工作于0.5THz的单脉冲天线馈源。该单脉冲天线馈源由两个H 面喇叭天线和一个波导型平面和差网络，以及一段添加销钉的相位匹配波导组成。该天线的结构便于采用Si基MEMS干法刻蚀工艺制备。采用Si基MEMS工艺可以满足THz频段天线对加工精度的苛刻要求。完成了天线单元与和差网络的一体化仿真设计。所设计的单脉冲天馈系统具有电轴偏移度小，零深较低，双峰不平度较好等
【机 构】
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北京理工大学信息与电子学院,北京 100081
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本文研究了一种基于Si基MEMS工艺的，工作于0.5THz的单脉冲天线馈源。该单脉冲天线馈源由两个H 面喇叭天线和一个波导型平面和差网络，以及一段添加销钉的相位匹配波导组成。该天线的结构便于采用Si基MEMS干法刻蚀工艺制备。采用Si基MEMS工艺可以满足THz频段天线对加工精度的苛刻要求。完成了天线单元与和差网络的一体化仿真设计。所设计的单脉冲天馈系统具有电轴偏移度小，零深较低，双峰不平度较好等优点。
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为了适应现代双频通信系统的要求,双频天线必须具有小尺寸和频率易调的特点。通过在H形微带天线的辐射边附近采用U形缝隙加载,在单层微带天线上实现了双频效果。和常规的双频微带天线相比,该天线的尺寸可以大大减小。通过改变天线的尺寸参数,高频段和低频段可以很容易的调节,本设计中得到的频率比范围是1.716---2.363。该天线在两个频段有相同的极化平面和较宽的辐射波束。
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