大外径非接触测量

来源 :中国计量测试学会几何量专业委员会1990年全国年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoya2001
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该文介绍了一种能对大外径绝对值进行非接触测量的测量方法及系统。该系统瞄准工件外径的长时间稳定性为±10μm左右,测量100mm以内的大外径变化量的精度在±20μm左右。该测量系统利用了激光束扫描测量技术,并采用了适当的光路结构,大大降低了测量大外径绝对值时阿贝误差的影响,同时也降低了激光束方向漂移对测量的影响,在电子线路上采取了有效措施,大大减少了激光能量变化对测量的影响,从而使测量系统具有较高的精度。(本刊录)
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