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分析电解复合超声频振动微细加工过程机理，提出一种微细加工新方法——电解复合超声频振动微细加工；设计构造复合微细加工装置，研究微细阴极制作工艺，通过微细组合电加工技术制作各类截面形状的微细阴极；进行复合微细加工机理试验，验证电解复合超声频振动实现微细加工的可行性，在此基础上进行一系列复合微细加工工艺试验，验证此工艺在提高微细加工精度、效率及表面质量等方面的技术优势。