论文部分内容阅读
半导体厂内有许多总类的洁净室在使用，但是多数的研究重点集中那些层流类型的洁净室为主。为了研究火灾的影响和烟流在不同的洁净室排放的状况，故本论文将以研究混合型湍流流场在洁净室中烟流控制与排烟的状况。本文使用美国国家标准与技术局(NIST)所开发的计算流体力学模型的FDS软件做为烟流控制的模拟。本文火灾数值仿真分析之其运用Navier-Stokes方程式计算，以解析流体方程式的方式撰写，适用于由低速、热驱动(Heat drive)的三度空间的流场及烟流动模拟，主要强调以火灾的烟与热传功能为主。被模拟的混合型洁净室火灾发生在一个全尺寸41.0m×28.0m×4.0m.的密闭区划空间内，并有计划的设计不同的作动上层FFU和排烟闸门的行为情境。为了更接近真正的情境。包括设计火载量、火灾的尺寸，而火灾可能的传播与扩散，也已经被考虑了。研究的结果显示烟流的设计与排放的可接受，并在起火点机台附近预测温度。也用Smokeview的软件来说明结果分析，这种评估方法不仅能用来评估潜在混合类型无层室的空间火灾的危险程度，这项技术并可以协助半导体厂工程师如何评估与设计厂内的系统。