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研究了磁控溅射生长ＣＮｘ薄膜材料过程中沉积温度对应力和硬度的影响。薄膜应力在沉积温度为３５０℃时达到最大值５ＧＰａ，而在沉积温度为１００℃时，薄膜具有较小的应力。硬度测量结果显示，在３５０℃时生长的ＣＮｘ薄膜具有最高硬度。最后，对薄膜应力、硬度与结构的关系进行了讨论。
沉积温度对CNx薄膜应力和硬度的影响
【摘 要】
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研究了磁控溅射生长ＣＮｘ薄膜材料过程中沉积温度对应力和硬度的影响。薄膜应力在沉积温度为３５０℃时达到最大值５ＧＰａ，而在沉积温度为１００℃时，薄膜具有较小的应力。硬度测量结果显示，在３５０℃时生长的
【机 构】
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大学材料科学系
【出 处】
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中国科协第三届青年学术年会
【发表日期】
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1998年期
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