【摘 要】
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本文采用拟合的方法,并利用DESTIN测试系统,研究了集成电路金属布线电阻与温度的关系,探讨不同材料、不同尺寸、不同结构金属布线的焦耳热效应.揭示在一定电流密度下,金属化
【出 处】
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2003第十届全国可靠性物理学术讨论会
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本文采用拟合的方法,并利用DESTIN测试系统,研究了集成电路金属布线电阻与温度的关系,探讨不同材料、不同尺寸、不同结构金属布线的焦耳热效应.揭示在一定电流密度下,金属化自升温较大,不能用环境温度来代替实际温度,在加速试验(一定的高电流、高温)条件下必须考虑焦耳热效应作用的原理.
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