【摘 要】
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本文以卤化物为气态前驱体，通过低温等离子体增强的化学气相沉积法在较低的沉积温度下制备得到了多种无机物纳米结构薄膜，包括单质、氧化物、氮化物、硫化物等，并实现了对其
【机 构】
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北京大学化学与分子工程学院 北京市成府路202号 100871
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本文以卤化物为气态前驱体，通过低温等离子体增强的化学气相沉积法在较低的沉积温度下制备得到了多种无机物纳米结构薄膜，包括单质、氧化物、氮化物、硫化物等，并实现了对其纳米尺度结构的调控。卤化物具有较高的蒸气压，是一类理想的气态前驱体，而低温等离子体提供了一种高化学反应活性，同时条件温和的反应介质，从而大大降低了反应温度。利用等离子体发射光谱对反应机理进行了研究，结果表明反应的关键步骤之一是卤化物前驱体在等离子体作用下分解产生金属或低卤素配位金属的自由基。这种不同的反应路径使等离子体能够克服热力学障碍，促进热力学禁阻的反应发生。一些氧化物纳米结构薄膜如SnO2 和In2O3 表现出了优良的储锂性能，有望作为新型的锂离子电池负极材料。
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