用导模共振光栅测量纳米级间隙的研究

• 作 者: 夏子奂;吴永刚;王振华;凌磊婕;
• 机 构: 同济大学波耳固体物理研究所,同济大学光学精密工程技术研究所,上海,200092
• 出 处: 上海市科协第七届学术年会—上海市激光学会2009年学术年会
• 发表日期: 2009年期

利用导模共振光栅表面的空气层厚度变化，造成导模共振光橱反射峰位的移动来测量纳米级间隙，突破了测量100nm以下间隙的难关.本文用严格耦合波方法计算了双层膜和金属基底模型，并分别讨论了光栅各参数(光栅厚度、周期、折射率)、膜层厚度、倾斜入射以及TM波入射情形下探测灵敏度的变化关系.简单分析了光栅的容许误差.通过优化，得到了0.7nm/nmm(峰位移动，间隙变化)的最大灵敏度.