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激光惯性约束聚变(ICF)是获取可控热核聚变的一条重要途径,在清洁新能源、国家安全等领域有着深远的战略意义.各国家均正在大力发展ICF的核心——高功率激光系统.美国NIF目前运行水平,熔石英元件的损伤阈值为10J/cm2左右[1],而我国仅为2~3J/cm2,均远低于熔石英体内损伤阈值.熔石英元件经过切割、研磨和抛光,表面出现再沉积层与亚表面损伤层,导致表面在激光作用下出现不可逆损伤(图1).