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本文按膜料为Pt-Ru,Pt-Ti,Pt-Ni和Pt-Al等五种模式,采用刚性球入射到C或Si基底，同时采用膜料粒子为铂原子入射到C基层,研究了在基底缺陷如空穴和间隙原子的形成,并针对薄膜生长初期,提出了“树桩”小岛形成机制。
金属薄膜沉积影响因素和生长缺陷的数值
【摘 要】
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本文按膜料为Pt-Ru,Pt-Ti,Pt-Ni和Pt-Al等五种模式,采用刚性球入射到C或Si基底，同时采用膜料粒子为铂原子入射到C基层,研究了在基底缺陷如空穴和间隙原子的形成,并针对薄膜生
【机 构】
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昆明理工大学材料与冶金工程学院,昆明 650093
【出 处】
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2006年全国博士生学术论坛——材料科学分论坛
【发表日期】
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2006年期
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