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为了获得低成本高效率硅基薄膜太阳能电池，利用具有不同带隙的硅基薄膜材料来构成宽光谱响应的新型硅基薄膜吸收材料是近年来值得探索的一个方向。将碳引入非晶硅膜中可以使材料的带隙变大，因此，非晶碳化硅可以作为宽带隙硅基薄膜材料来加以应用，特别是在新一代太阳能电池应用中，其不仅可以作为量子点太阳电池的介质层，也可以用作非晶硅叠层电池中的宽带隙吸收层，故对非晶碳化硅薄膜的制备及光电性质的研究受到国内外研究小组的广泛关注。