PBS法测量Ti膜中H同位素深度分布

• 作 者: 丁伟 龙兴贵 施立群
• 机 构: 中国工程物理研究院,核物理与化学研究所,四川,绵阳,621900
• 出 处: 第六届(2010年)北京核学会核技术应用学术交流会
• 发表日期: 2010年期
• 关键词: PBS 测量 同位素 分析结果 深度分布 质子 制备过程 样品 散射信号 浓度 分布均匀 底衬 背散射 证明 偏差 含量 材料

本文在Mo底衬上制备了约5μm的3个TiDxTy样品,用质子背散射(PBS)法分析了D、T在Ti膜中的深度分布,其中,T的分析能得出较为准确的结果,而D的分析结果受质子在Mo底衬中多次散射信号的影响偏差较大。分析结果表明,PBS法测量的T含量和浓度与样品制备过程中测量的结果一致,且T在Ti膜中分布均匀.这证明PBS法可用于对材料中T浓度与分布的分析。