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AlN/GaN异质结场效应晶体管中不同欧姆接触工艺对极化库仑场散射的影响
【机 构】
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山东大学物理学院,山东济南,250100 专用集成电路国家重点实验室,河北石家庄,050051
【出 处】
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第二十届全国半导体物理学术会议
【发表日期】
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2015年3期
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会议
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会议