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通过LA-ICP-MS对标准样品表面进行四点定点分析,从而得到工作曲线。再利用得到的工作曲线对断口表面进行扫描分析,用样品移动台的精确定位得到样品表面的位置信息,用激光器的聚焦位置来模拟样品表面的深度信息,描述了样品的表面形貌,从而得到样品表面元素原位统计分布分析状况。实现了对非平面表面元素的原位统计分布分析表征。