【摘 要】
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随着科技的发展,越来越多的方面需要应用到湿度传感器.若能利用CMOS工艺将传感器部分、信号的处理电路等集成在同一块芯片上,从而进行大规模集成,就可以降低成本,减小整个系
【出 处】
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全国第13届计算机辅助设计与图形学学术会议暨全国第16届计算机科学与技术应用学术会议
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随着科技的发展,越来越多的方面需要应用到湿度传感器.若能利用CMOS工艺将传感器部分、信号的处理电路等集成在同一块芯片上,从而进行大规模集成,就可以降低成本,减小整个系统的尺寸,提高系统的可靠性.这里主要介绍了湿度传感器的分类,比较了电容型、电阻型、离子敏型湿度传感器的感湿原理和结构特点.其中具体介绍了CMOS电容型湿度传感器的感湿机理和其信号处理电路,并利用了Cadence公司的Spectre工具对其中的运放电路进行了仿真.最后,对CMOS湿度传感器的应用发展的前景进行了展望.
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