【摘 要】
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采用毫牛力学探针技术的两步压入试验法研究了高速钢和不锈钢基片上不同厚度TiN薄膜的硬度和弹性模量.结果表明:采用同样工艺制备的TiN薄膜,其力学性能随基片类型和膜厚的不同有明显变化.薄膜的硬度和弹性模量随膜厚的增加而提高.基体硬度的提高也使薄膜呈现较高的硬度和模量.分析认为薄膜内应力状态的改变是产生这些现象的主要原因.
【机 构】
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上海交通大学高温材料与高温测试教育部重点实验室(上海) 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(
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采用毫牛力学探针技术的两步压入试验法研究了高速钢和不锈钢基片上不同厚度TiN薄膜的硬度和弹性模量.结果表明:采用同样工艺制备的TiN薄膜,其力学性能随基片类型和膜厚的不同有明显变化.薄膜的硬度和弹性模量随膜厚的增加而提高.基体硬度的提高也使薄膜呈现较高的硬度和模量.分析认为薄膜内应力状态的改变是产生这些现象的主要原因.
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