【摘 要】
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以YBa2Cu3O7-δ高温超导薄膜制备中的组分控制问题为背景,通过电子束三源共蒸发实验定性分析了Y,,BaF2和Cu3种组元的吸附系数对温度、界面组分的依赖关系.结果表明:Y,和BaF2的吸附系数与温度、沉积界面组分的相关度非常小;Cu的吸附系数在室温沉积时也与界面组分不相关,而在300℃和600℃下高温沉积时Cu的吸附系数随着BaF2组分的增大而显著降低.
【机 构】
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中国科学院力学研究所高温气体动力学重点实验室,北京100190
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以YBa2Cu3O7-δ高温超导薄膜制备中的组分控制问题为背景,通过电子束三源共蒸发实验定性分析了Y,,BaF2和Cu3种组元的吸附系数对温度、界面组分的依赖关系.结果表明:Y,和BaF2的吸附系数与温度、沉积界面组分的相关度非常小;Cu的吸附系数在室温沉积时也与界面组分不相关,而在300℃和600℃下高温沉积时Cu的吸附系数随着BaF2组分的增大而显著降低.
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