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双层胶方法实现的亚微米ＩｎＡｌＡｓ－ＩｎＧａＡｓ ＨＥＭＴ

来源 :中国有色金属学会1993年砷化镓及有关化合物会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yinnahappy

【作 者】

：

敖金平 曾庆明 

【机 构】

：

机械电子部第13研究所

【出 处】

：

中国有色金属学会1993年砷化镓及有关化合物会议

【发表日期】

：

1993年期

【关键词】

：

方法 

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