【摘 要】
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近几十年来,由于在微机电系统应用的强大潜力,磁电薄膜越来越引起人们的兴趣.由于乘积效应,通过复合压电薄膜和磁致伸缩薄膜可以获得具有较大磁电效应的磁电复合薄膜.本文采用低能团簇束流淀积的方法在PZT/Pt/Ti/SiO2/Si压电薄膜衬底上淀积纳米结构Tb-Fe团簇薄膜，从而组装成Tb-Fe/PZT薄膜异质结。发现与普通的复合薄膜相比，团簇束流淀积制备的薄膜异质结展示出很高的磁电祸合效应。利用相同的
【机 构】
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内蒙古大学物理科学与技术学院;呼和浩特,010021;南京大学固体微结构国家重点实验室,南京210093
【出 处】
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第三届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会
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近几十年来,由于在微机电系统应用的强大潜力,磁电薄膜越来越引起人们的兴趣.由于乘积效应,通过复合压电薄膜和磁致伸缩薄膜可以获得具有较大磁电效应的磁电复合薄膜.本文采用低能团簇束流淀积的方法在PZT/Pt/Ti/SiO2/Si压电薄膜衬底上淀积纳米结构Tb-Fe团簇薄膜，从而组装成Tb-Fe/PZT薄膜异质结。发现与普通的复合薄膜相比，团簇束流淀积制备的薄膜异质结展示出很高的磁电祸合效应。利用相同的团簇薄膜淀积技术在压电薄膜PVDF的表面上淀积了一层Sm-Fe纳米结构共同组成一种软质衬底的Sm-Fe/PVDF薄膜异质结，并且获得了极大的磁电压输出。
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