复合分子泵在全玻璃真空集热管烘烤排气线的应用推广

来源 :中国可再生能源学会2011年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jake9
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全玻璃真空集热管烘烤排气线42 辆台车全部采用复合分子泵进行烘烤排气抽高真空获得成功。复合分子泵长时间生产运行后,经受多次集热管管口破裂引起的大气冲击,没有损坏,抽真空性能无明显变化。与通常采用的油扩散泵相比,分子泵抽真空烘烤排气的集热管无油污染,制备的集热管的真空度一致性提高。烘烤排气线的故障率降低。另外采用分子泵抽高真空节能效果明显。
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