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薄膜的溅射剥层和背散射组合分析方法
【机 构】
：
大学现代物理研究所基于加速器的原子物理和原子核物理实验室(上海
【出 处】
：
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
：
1999年期
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