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本文对带聚酰亚胺绝缘层的硅衬底电路传输线进行了加工和实验测试,实验结果与同时域有限差分法得到的仿真结果相符合.定性地验证了加适当厚度的绝缘层可使低阻硅传输线的衰减特性接近高阻硅传输线,因而可用做微波乃至毫米波传输线.
硅衬底传输线电特性的实验研究
【摘 要】
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本文对带聚酰亚胺绝缘层的硅衬底电路传输线进行了加工和实验测试,实验结果与同时域有限差分法得到的仿真结果相符合.定性地验证了加适当厚度的绝缘层可使低阻硅传输线的衰减
【机 构】
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上海交通大学电子工程系(上海)
【出 处】
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中国电子学会微波学会第五届全国毫米波亚毫米波学术会议
【发表日期】
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2004年期
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