利用TiO2薄膜的光纤表面等离子体传感器的COMSOL仿真研究

来源 :2016年全国光机电技术及系统学术会议暨中国光学学会光电技术专委会/中国仪器仪表学会光机电分会会员代表大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qyxiao3771

【摘要】

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本文利用有限元分析软件COMSOL Multiphysics 5.2 波动光学模式分析模块对D型光纤表面等离子体传感器进行了仿真研究.二氧化钛(TiO2)作为金属氧化物具有折射率高，熔点较低(相对于其它金属氧化物)的优点.将TiO2 镀在等离子传感器的金属膜层上，能够有效的保护金属膜使其避免氧化，同时TiO2 较高的折射率可使得光纤表面等离子体传感器用于折射率较高液体的测量.

【作者】

：

王涛刘铁根刘琨江俊峰薛萌

【机构】

：

天津大学精密仪器与光电子工程学院

【出处】

：

2016年全国光机电技术及系统学术会议暨中国光学学会光电技术专委会/中国仪器仪表学会光机电分会会员代表大会

【发表日期】

：

2016年3期

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