【摘 要】
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在有机电致发光器件(OLEDs)中，由于金属电极的存在，在金属电极与有机材料界面存在表面等离子体(SPP)模式会严重影响器件的光取出效率.图形可设计的微米尺度的有机电致发光器件(micro-OLEDs)在3D 以及高分辨显示领域有着特殊的需求，但是制备micro-OLEDs 器件特别是实现器件中微电极的图案化的加工工艺依旧存在很多技术难点.OLEDs 器件中常用的ITO 透明电极与柔性器件不相容，
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林长春,130012 吉林大学电子科学与
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在有机电致发光器件(OLEDs)中，由于金属电极的存在，在金属电极与有机材料界面存在表面等离子体(SPP)模式会严重影响器件的光取出效率.图形可设计的微米尺度的有机电致发光器件(micro-OLEDs)在3D 以及高分辨显示领域有着特殊的需求，但是制备micro-OLEDs 器件特别是实现器件中微电极的图案化的加工工艺依旧存在很多技术难点.OLEDs 器件中常用的ITO 透明电极与柔性器件不相容，且价格昂贵.超薄金属薄膜是ITO的杰出替代品之一，但是金属薄膜的Volmer–Weber 生长模式导致超薄金属薄膜具有较差的表面形貌和光学电学性质，从而严重影响器件的性能.我们将一维、二维单周期微结构金属电极以及二维双周期微结构金属电极引入到OLEDs 中，通过激发电极/有机界面的SPP 模式耦合出射，有效地提高了器件的光取出效率，解决了由于SPP 模式导致OLEDs 器件能量损耗的问题.我们利用飞秒激光直写技术结合石墨烯氧化还原工艺制备了图形可任意设计的具有高分辨率的图案化微电极以及micro-OLEDs 器件.我们研究了金属薄膜的生长动力学过程，利用SU-8 与Au 原子之间的相互作用，有效地抑制了Au 薄膜的Volmer–Weber 生长模式，制备了超薄超平滑的Au 电极，并且制备了具有良好柔性和机械稳定性的基于超薄Au电极的柔性OLEDs 器件.
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