Si基本征多晶金刚石平面薄膜场发射特性的研究

来源 :第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caikesbad
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
n-Si为衬底,用PECVD方法淀积了多晶金刚石薄膜,该薄膜具有很好的发射特性,在6V/μm的电场下,场发射电流为5μA。由薄膜场发射的实验曲线计算得到场发射的有效势垒随外加电场的变化而变化,而且在有效势垒的曲线中存在的一段平台。从理论上对这种现象进行了研究,确定了电子从Si衬底注入金刚石薄膜的方式,认为有效势垒的平台效应是由于缺陷能级在金刚石禁带中分布不均匀所致,并由此建立在注入限制情况下本征多晶金刚石的场发射模型。根据模型计算得到有效势垒的理论曲线与实验曲线反映了相同的变化规律。
其他文献
本文简述了采用浓磷扩散吸杂,铝吸杂以及磷--铝共同吸杂等方法,对多晶硅进行了大量的实验研究结果表明,上述方法对我们实验所用的多晶硅材料做太阳电池,其电学特性没有显著的
随着科技技术的飞速发展,电子自动化技术也在逐渐提高.目前,电子自动化控制技术已经成为我国大型产业生产和管理的主要方式,电子自动化装置越来越为企业所青睐,应用于整个生
用作为收集光在电流的多晶硅太阳电池电极(包括迎光面的栅电极和背电极)是多晶硅太阳电池的重要组成之一,其合理设计、电极质量、收集光生在电流的效率、自损耗的大小以及电
以多晶硅代替单晶硅可以减少生产太阳电池的成本.但晶硅表面晶体方向的无序性,使我们用常规的NaOH制备的表面织构的光吸收效果达不到所需要的要求.APCVD化学沉积镀TiO膜是在
利用AC高压辉光放电产生氢等离子体,对多晶硅太阳电池进行氢钝化处理,使多晶硅太阳电池的短路电流(Isc)、开路电压(Voc)和填充因子(FF)等性能参数得到提高.
晶体硅太阳电池组件的主要成本构成是硅片.使用多晶硅(mc-Si)替代直拉单晶硅(CZ-Si)可以降低硅片成本.多晶硅材料存在的少数载流子寿命较低、材料电参数分散的缺点,经过世界
本文简述了采用高温浓磷扩散,钝化,氢化和背场制作技术研制了多晶硅太阳电池在AM1.5,25℃,100mw/cm2条件下,获得了面积为2×4cm2多晶硅太阳能电池的光电转换效率为12.1℅的结
应用晶体细观力学方法,分析了双晶体循环变形过程中组元晶粒取向及其变形性质(Bauschinger效应和循环硬化)的影响。发现双晶体的反向屈服及循环硬化行为主要由组元晶粒性质支配,晶间内应力的