我国半导体、太阳能电池硅晶体生长用大尺寸、高纯度石墨及碳素系列保温材料的应用

• 作 者: 朱黎辉
• 机 构: 中国电子材料行业协会半导体材料分会
• 发表日期: 2004年期

<正>1我国电子信息产业、半导体工业及硅光伏产业的迅猛发展带来对"大尺寸、高纯度石墨和碳素系列保温材料"的巨大需求能源、信息、材料是人类社会的三大支柱。半导体硅(多晶、单晶)材料则是电子信息产业(尤其是集成电路产业)和新能源、绿色能源硅光伏产业的主体功能材料,硅材料的使用量至今仍然占全球半导体材料的95%以上,是第一大电子功能材料,且早已是一种战略性的物资和产业。