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本文介绍了近场微波显微镜(NSMM)的主要结构及其进行介电常数定量测量的方法。本文基于有限元分析方法，采用HFSS 和COMSOL 软件对近场微波显微镜进行仿真，研究了探针和样品间距和样品介电常数引起的测量影响。
近场微波显微镜(NSMM)测量介电常数的研究
【摘 要】
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本文介绍了近场微波显微镜(NSMM)的主要结构及其进行介电常数定量测量的方法。本文基于有限元分析方法，采用HFSS 和COMSOL 软件对近场微波显微镜进行仿真，研究了探针和样品
【机 构】
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电子科技大学物理电子学院,成都610054
【出 处】
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第十七届全国微波能应用学术会议
【发表日期】
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2015年期
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