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本文基于LiNbO3晶体垂直表面输出技术设计了一台小型化外腔THz参量振荡器。利用小型化灯泵浦脉冲1064nm脉冲激光器泵浦MgO：LiNbO3，通过优化设计三波非共线相位匹配的光学参量振荡腔结构，实现THz垂直晶体表面输出，减少LiNbO3晶体对THz波的吸收，提高了THz波输出光束质量。当在泵浦光能量为128mJ、重复频率为10Hz时，获得THz波的调谐范围为0.69～3.01 THz，在1.6THz处获得THz波最大平均功率为10.8μW，脉冲宽度为10ns，对应THz波能量转换效率为8.43×10-6。这为太赫兹的光谱分析和太赫兹通讯提供了小型化、室温运转的可调谐太赫兹源。