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Vapor Particle Transport in Electron Beam Physical Vapor Deposition
【机 构】
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LaboratoryofHighTemperatureGasDynamics,InstituteofMechanics,ChineseAcademyofSciences,Beijing,100180
【出 处】
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9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
【发表日期】
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2008年10期
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