【摘 要】
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设计采用层-层膜累积技术(layer-by-layer deposition technique)来构建多层聚电解质复合膜(polyelectrolyte multiplayer films,PEM films)并利用这一技术制备了电化学生物传感器.层-层膜累积技术主要特点是制备过程简单,并且可使用的材料选择范围广泛.这一技术是利用静电吸引力使溶液中的正离子和负离子交替吸附在固体表面,其优点是其表
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设计采用层-层膜累积技术(layer-by-layer deposition technique)来构建多层聚电解质复合膜(polyelectrolyte multiplayer films,PEM films)并利用这一技术制备了电化学生物传感器.层-层膜累积技术主要特点是制备过程简单,并且可使用的材料选择范围广泛.这一技术是利用静电吸引力使溶液中的正离子和负离子交替吸附在固体表面,其优点是其表面极性可由改变最外层聚电解质的类型而随意控制.由于体积排除效应(size exclusion effect)的作用,利用层-层膜累积技术制作的高分子-酶自组装累积膜生物传感器显示出了对血液中葡萄糖测量过程中干扰物的良好的屏蔽效果,预计其在制备葡萄糖生物传感器中将有较好的应用前景.
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LPCVD SiN薄膜的热导率在微电子和MEMS器件的设计过程中都是一个重要的参数.当绝缘薄膜厚度与热能载子——声子的波长或相干常数(常温下约几百nm)相当甚至更小时,其热物性参数的尺寸效应将明显增强.通过我们开发的分布向上腐蚀法,成功的制作出镶嵌有NiCr/Ni热电偶的一系列厚度从50nm到1000nm的LPCVD SiN薄膜.我们利用付立叶定律,在大气和10torr条件下测量了200nm、50
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比热是SiN薄膜重要的热学参数之一,SiN薄膜比热特性研究对热传原理传感器研究和发展以及物质微尺度热学特性的研究有重要的意义.本文设计并制作出一种悬膜结构,从理论上分析了此结构的传热机理,并通过实验测得SiN薄膜的比热,最后分析了此测量系统存在的误差及解决方法.
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