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综述了国际半导体硅材料近年来的发展状况及未来的发展方向，同时叙述了半导体工业对硅材料的要求及多晶硅的状况。
世界半导体硅材料的进展与趋势
【摘 要】
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综述了国际半导体硅材料近年来的发展状况及未来的发展方向，同时叙述了半导体工业对硅材料的要求及多晶硅的状况。
【机 构】
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半导体材料研究所
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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