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该文中着重分析了离子注入提高离子束加工效益的途径，离子束工业生产发展两头和未来离子束技术在国民经济中的重要作用， 也给出了NEVVA离子注入技术在工业化生产中的特点和生产状况。
离子束在工业上的应用
【摘 要】
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该文中着重分析了离子注入提高离子束加工效益的途径，离子束工业生产发展两头和未来离子束技术在国民经济中的重要作用， 也给出了NEVVA离子注入技术在工业化生产中的特点和生产
【机 构】
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北京师范大学低能核物理所射线束材料工程实验室
【出 处】
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中国电工技术学会第六届学术会议
【发表日期】
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1999年期
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