【摘 要】
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研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器,研究了器件的封装及其在液相条件下的工作稳定性.采用单边封闭的封装方式,研究了器件在单边触液条件下的工
【机 构】
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清华大学,精密仪器系,北京,100084
【出 处】
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器,研究了器件的封装及其在液相条件下的工作稳定性.采用单边封闭的封装方式,研究了器件在单边触液条件下的工作特性.阵列器件采用扫描工作方式,分时激励阵列中的各单元器件依次进入谐振工作状态,使某一时刻仅有一个单元器件处在工作状态,避免了单元器件间的振动耦舍.实验制作的单片扫描式QCM阵列传感器试验结果显示,阵列器件中各单元器件的气相平均频率稳定度达到±0.2×10-6/h,液相平均频率稳定度达到±0.4× 10-6/h.
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