【摘 要】
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在TFT-LCD行业,异物对品质的影响约占95％,直接关系到企业效益.因此,如何有效控制异物影响成为业内各大企业不断探索的课题.本文主要通过对TFT-LCD制作流程中异物的影响及传统
【机 构】
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合肥京东方光电科技有限公司,合肥 230012
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在TFT-LCD行业,异物对品质的影响约占95％,直接关系到企业效益.因此,如何有效控制异物影响成为业内各大企业不断探索的课题.本文主要通过对TFT-LCD制作流程中异物的影响及传统分析方法的不足进行分析,并结合实际生产经验,探索出一套以位置匹配为基础,充分的利用光学检查机检测数据的异物管控的新型异物监控反馈系统,反馈速度由原来的2周缩短至2小时,同时亦提高了工程改善的积极性及改善效率,最终实现异物3σ管控,所有产品波动控制在1％内,为异物的分析与改善提供了新的思路.
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