一种新型TiO<,2>氧化物薄膜的试验研究

来源 :1998年中国材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hu_20092009
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该文根据成膜原理和TiO〈,2〉的特性,提出了一种新型的TiO〈,2〉薄膜成型技术,并对其涂覆工艺、结合强度进行了试验研究。结果表明,该文所研制的TiO〈,2〉薄膜具有工艺简单,性能优良,成本低廉的优点,可广泛应用于机械零件、电气元件表面的耐磨、耐腐、防热绝热、电绝缘等防护处理。
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