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一种新型TiO<,2>氧化物薄膜的试验研究
一种新型TiO<,2>氧化物薄膜的试验研究
来源 :1998年中国材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hu_20092009
【摘 要】
:
该文根据成膜原理和TiO〈,2〉的特性,提出了一种新型的TiO〈,2〉薄膜成型技术,并对其涂覆工艺、结合强度进行了试验研究。结果表明,该文所研制的TiO〈,2〉薄膜具有工艺简单,性能优良,成本低廉的优
【作 者】
:
孙宝臣
杜彦良
赵田臣
【机 构】
:
庄铁道学院
【出 处】
:
1998年中国材料研讨会
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
氧化物薄膜
涂覆工艺
试验研究
结合强度
机械零件
防护处理
电气元件
成型技术
成膜原理
电绝缘
应用
性能
特性
耐磨
耐腐
绝热
防热
成本
表面
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该文根据成膜原理和TiO〈,2〉的特性,提出了一种新型的TiO〈,2〉薄膜成型技术,并对其涂覆工艺、结合强度进行了试验研究。结果表明,该文所研制的TiO〈,2〉薄膜具有工艺简单,性能优良,成本低廉的优点,可广泛应用于机械零件、电气元件表面的耐磨、耐腐、防热绝热、电绝缘等防护处理。
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