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本文通过量子化学计算中的密度泛函理论,在B3LYP/6-31G*水平上,计算了BTA及其羧基烷基酯衍生物中N,O杂原子的电荷分布、对最高轨道的贡献以及Fukui指数,指出了在中性及酸性条件下此类缓蚀剂的反应活性位点。文章阐述了缓蚀效率与分配系数LogP及极化率之间的良好线性关系,得到了BTA及其羧基烷基酯衍生物主要是以物理吸附作用于金属表面的推论。