牵引分子泵抽气通道几何参数优化设计方法的研究

来源 :中国真空学会第五届学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jsd84r
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随着涡轮分子泵抽气特性理论的不断发展和完善,对于复合分子泵中牵引分子泵抽气理论的研究显得更为重要,而目前对牵引分子泵的研究相对较少。该文在分析了影响牵引分子泵抽气特性的因素后,以抽气通道几何参数:槽宽,槽深为设计变量,以气体连续性方程和最大抽速为约束条件,把压缩比为目标函数,给出计算压缩比最大值的计算方法,并与典型的槽深线性变化通道的抽气特性进行了比较,验证了优化通道的优越性,对改进牵引泵结构,提高复合分子泵抽气性能具有实际意义。
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