【摘 要】
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本团队采用磁控溅射后硫化法制备铜锌锡硫电池。先在玻璃衬底上共溅射SnS2,Cu以及ZnS三种化合物，然后在硫化氢气氛中高温退火而成。在前驱体中引入金属化合物ZnS，减少了在退火
【机 构】
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中国科学院深圳先进技术研究院,深圳 515005
【出 处】
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第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会
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本团队采用磁控溅射后硫化法制备铜锌锡硫电池。先在玻璃衬底上共溅射SnS2,Cu以及ZnS三种化合物，然后在硫化氢气氛中高温退火而成。在前驱体中引入金属化合物ZnS，减少了在退火过程中因为元素挥发引起的组分偏差因素。通过了解退火条件与组分流逝之间的关系，可以再退火过程中能够通过适当的参数控制来获取想要的组分，从而制备高质量的CZTS薄膜。目前通过调整前驱体组分，优化工艺条件，可以制备出效率超过8％的铜锌锡硫薄膜太阳能电池。
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