【摘 要】
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AFM接触模式测量中的非局域效应，是指试样表面距探针最近点附近有限区域内的形貌对测量结果都有贡献，导致测量结果是这些区域贡献的加权平均，而并不仅仅代表针尖正下方试样的局
【机 构】
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中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 北京 100190 中国科学院研究生院 北京 100039
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AFM接触模式测量中的非局域效应，是指试样表面距探针最近点附近有限区域内的形貌对测量结果都有贡献，导致测量结果是这些区域贡献的加权平均，而并不仅仅代表针尖正下方试样的局部信息。它包括有限分子力程导致的固有非局域效应和探针有限尺度的几何因素导致的非局域效应两部分。为了考察非局域效应，我们忽略由于分子间相互作用引起的针尖和物体的变形，并假设物体内分子均匀分布，及分子间相互作用势可叠加，建立了分析模型，并对多种尺寸下AFM 测量复杂表面形貌试样的情形做了模拟计算，考察了其中非局域效应带来的误差。为了降低非局域效应的误差，我们进一步发展了多点二次逼近的方法，对一次逼近后的结果进行处理。结果表明，与原来的二次逼近方法相比，多点二次逼近可以得到误差更小的测量结果。
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