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Optical properties investigating of HfO2Si by Spectroscopic Ellipsometry

来源 :广西光学学会2016年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：llyljl

【作 者】

：

Yi Liang Qingxuan Li Lingyu Wan Chao-Hsin Chien Gordon Yu Zhechuan Feng 

【机 构】

：

Laboratoryofoptoelectronicmaterials&detectiontechnology,GuangxiKeyLaboratoryforRelativisticAstrophys

【出 处】

：

广西光学学会2016年学术年会

【发表日期】

：

2016年10期

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