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该文通过理论分析和实验提出用探针-光谱诊断技术测量无声放电等离子体的电子温度。
无声放电等离子体的光谱诊断
【摘 要】
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该文通过理论分析和实验提出用探针-光谱诊断技术测量无声放电等离子体的电子温度。
【机 构】
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东南大学电子工程系
【出 处】
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第九届全国等离子体科学技术会议
【发表日期】
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1999年8期
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